第16章研发进度

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    不知不觉中，时光飞逝，春节眼看着临近了。
    徐卫国今年肯定是没办法回家过年了，只好写了一封信寄回家，免得家里人担心。当然，他在干什麽肯定是不能说的，只说自己要在学校多学点东西。
    值得一提的是，徐卫国前不久已经拿到了京大的毕业证，并正式成为了科学院物理所的一员，果然是三级研究员。
    月底，他还拿到了自己的第一笔工资，一百七十五元。
    拿出一百块还给了张希德，剩下的钱他给自己买了几身内外衣服，转眼又花了个乾净。
    好在他吃住都有公家管着，平时也基本不花什麽钱。
    除夕这天，徐卫国给团队所有人放了两天假，没日没夜的忙活了一个多月，春节再不让放松一下也实在说不过去。
    毕竟，这项目并没有一个期限限制，没必要赶那麽急。
    左右也是无事，徐卫国乾脆又去了周家，借宿两天，算是把这个年给过了。
    ……
    过完年，徐卫国又带领团队投入了紧张的研发过程中。
    三月初，各项研发工作开始进入收获期。
    第一个完成的分项目是光刻胶，在进行大量实验后，团队先是成功制取出了苯乙烯-丁二烯共聚物（SBR），这是第一代光刻胶的主要成分。
    仅仅一周后，他们又制取出甲基丙烯酸甲酯作为交联剂，解决了光刻胶易变黄的问题。至此，第一代光刻胶的研发工作正式完成。
    第二个完成的分项目是扩散炉，它用于扩散工艺，作用是将杂质元素引入矽片以形成PN结或电阻等元件。
    随后，氧化设备，蒸发台丶外延生长设备丶研磨抛光设备等项目也相继完成研发。
    到五月时，所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。
    而光刻机这个大系统中，所有分系统其实都已经做出来了，问题卡在精度上。
    如果现有分系统直接组装起来投入使用，光刻机的定位精度将低于五微米，曝光图形精度（线宽）则在十微米级别，这个水平远远达不到徐卫国的预期，距离历史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。
    徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的，他宁愿把研发时间拉长，继续精雕细琢。
    这一拖，就拖到了七月。
    这天上午，晴空万里，徐卫国照例待在实验室，亲自参与光刻机的调试改进。
    正忙着，实验室门口突然来人了。
    却是所长严纪慈。
    此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚制作出来的掩模版，严纪慈并未打扰他，只是在一旁站着观看。
    直到徐卫国从显微镜前站起来，跟一旁的同伴吩咐了几句，一转身，这才看到严纪慈。
    「所长！您什麽时候来的。」
    严纪慈笑道：「我也刚来没多久。……你们这确实是凉快啊！我都不想走了。」
    徐卫国笑了笑，他们这是恒温实验室，安装了大功率空调的，倒不是搞特殊，而是因为温度会影响设备精度，不得不装。
    不过在这炎炎夏日，在空调房工作也确实是一种享受，大家都不大愿意出门。
    「您找来是有什麽事吗？」徐卫国。
    严纪慈点点头：「我来就是想问你，光刻机研发什麽时候能完成？……离十月一就剩不到三个月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成电路，为国庆献礼。当然，如果来不及的话就当我没说，你们还是按你们的进度来。」
    徐卫国道：「应该是来得及。其实吧，光刻机我们已经造出来了，问题是精度不及预期，现在我正在改进中。」
    「精度问题……你有解决方案吗？」
    「有。不瞒您，我脑子里有的是办法，奈何缺了太多设备，现在只能用笨办法慢慢摸索。」
    这倒是大实话，比如光学系统精度，想提高离不开干涉仪辅助，但这东西还在研发，想用上不知要到哪年月了。
    再比如掩模版的制作精度，没有电子束光刻，就很难制作精细图案。雷射直写倒是一个解决方案，但红宝石雷射器同样也刚开始研发。
    「具体说说你的笨办法。」严纪慈饶有兴致的问道。他自己本身就是光学研究领域的专家，加上一直在关注徐卫国的研发进展，在光刻机上算是内行人。
    徐卫国点点头，说道:「就比如这掩模版，我现在尝试用分步重复曝光的办法，也就是先制作大尺寸母版，再用光学微缩复制到掩模版上。试验结果还行，精度提高了不少。
    再比如对准精度，手动对准精度有限，我自己设计了一套机械-光学混合对准系统，现在还没造出来，但估计也就这几天了。」
    严纪慈：「听起来是很不错的解决办法。……呵，我本想帮你参谋参谋，提一些建议，现在看是不用了。」
    徐卫国：「让您费心了。」
    「嗐，我费什麽心啊。技术上我也帮不上什麽忙，都是瞎操心。」
    严纪慈看着徐卫国，突然感叹道：「都说隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你这脑子是怎麽长得，怎麽就什麽都懂呢?」
    徐卫国咧嘴笑道：「我是天才嘛，不能以常理度之。」
    严纪慈哈哈笑了起来，道：「说的没错，不能以常理度之。……行了，你继续忙，我先回去了。」
    「您慢走！」

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第16章 研发进度

第16章研发进度